진공(Vacuum) 영역 구분

진공(Vacuum) 영역 구분

 

 

 

진공영역	진공범위(torr)	적용 공정	진공펌프 기종
	진공범위(Pa)
저진공(LV) Low Vacuum	760 ~ 1	진공흡착이송 인쇄자동급지 진공농축반응 분말충진 진공포장	건식 로터리 베인 펌프 급유식 로터리 베인 펌프 수봉식 펌프 스팀 이젝터 가스주입용
	10^5 ~ 10^2
중진공(MV) Medium Vacuum	1 ~ 10^-3	진공건조 탈기장치 진공함침 진공증류 진공소결	다단식 로터리 베인 펌프 다단식 스팀 이젝터 루츠펌프 피스톤펌프 확산펌프
	10^2 ~ 10^-1
고진공(HV) High Vacuum	10^-3 ~ 10^-7	진공코팅, 진공 동결건조 진공합금 신소재합금	확산펌프 터보 분자펌프 흡착펌프 저온 냉각펌프 승화펌프
	10^-1 ~ 10^-5
초고진공(UHV) Ultra High Vacuum	10^-7 ~ 10^-10	원자핵연구 전자현미경 플라즈마발생기 물리실험장치	터보 분자 펌프 저온 냉각펌프 흡착펌프
	10^-5 ~ 10^-8
극고진공(XHV) Extremely High Vacuum	< 10^-10	원자핵연구 입자가속 우주실험 소립자연구	이온펌프
	< 10^-8

 

 

 

 

 

 

▶ (과학에서) 진공이란?

‘아무것도 없는 허무공간’이 아니라,

‘대기압보다도 압력이 낮은 상태’를 ‘진공’이라 정의.

 

예) 경포대/해운대와 비교하면,

지리산/한라산 정상은 진공 상태.

 

 

 

▶ 기체 분자들이 용기 벽에 충돌하기 때문에

압력이 발생하므로,

저진공에서 고진공쪽을 갈수록

용기 내 기체 분자(입자)의 수는 감소한다.

---> 극고진공은

‘아무것도 없는 허무공간’에 가장 근접한 상태.

 

 

 

 

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